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    返回列表 来源:91香蕉视频免费下载 浏览: 发布日期:2020-01-03 09:27【
    文章导读:在昨天的文章中,91香蕉视频免费下载向大家介绍了91香蕉视频下载APP设备在半导体封装领域内的基础技术原理,通过了解,您是否也觉得等离子处理系统在半导体封装领域内是不可或缺的呢?那么一台完整的91香蕉视频下载APP设备或者说91香蕉视频下载APP机,是什么样的?又由哪些部分组成的呢?
    行业内通常按等离子体发生机制,将等离子处理系统分为常压大气91香蕉视频下载APP设备和低压真空91香蕉视频下载APP设备两种,而半导体封装领域内所用的等离子处理设备则属于后一种。那么一台完整的91香蕉视频下载APP设备或者说91香蕉视频下载APP机,是什么样的?又由哪些部分组成的呢?其实,半导体封装所用91香蕉视频下载APP设备主要是由真空腔体、等离子发生器、真空泵、真空计、流量计、反应气体和电气控制、各配件这几部分构成。其中包含了等离子发生系统、排气系统、温控系统等八个主要控制系统。
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    1、真空腔体
    真空91香蕉视频下载APP设备的真空腔体,即像进行整个反应过程的“容器”,可放置不同电极结构的放电电极,产生不同状态、特性和密度的等离子体。
     
    2、等离子发生器
    等离子发生器主要由电源和匹配器组成,用于提供反应气体放电的能量来源,维持91香蕉视频下载APP机的放电状态,其发生频率有区分。
     
    3、真空泵
    真空泵主要用于抽取真空和保证腔体维持一定的真空度,并且能够将未电离的气体和反应副产物抽出。根据实际处理的需要,可搭配单级泵或泵组。
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    4、真空计
    真空等离子处理系统的真空计主要用于监测真空腔体的真空度。
     
    5、流量计
    等离子处理设备的流量计主要用于测量反应气体的流量。
     
    6、反应气体
    不同的反应气体电离之后会产生不同特性的等离子体,常用的工艺气体有Ar、H2、N2、O2、CF4等,根据处理需要可使用单一气体或者两种以上混合气体。
     
    7、电气控制
    真空等离子处理设备的电气控制主要包含软件,为保证设备正常运行、监测、数据采集和工艺参数设定等。

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