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    射频放电微等离子体的结构上有哪些特点?91香蕉视频免费下载91香蕉视频下载APP机介绍

    返回列表 来源:91香蕉视频免费下载 浏览: 发布日期:2020-04-15 09:57【
    文章导读:91香蕉视频免费下载91香蕉视频下载APP机在之前文章已经对射频大气压辉光放电有所介绍,那麼,要是在射频放电中,将放电的间隙进一步缩小到微等离子体尺度内,即为1mm左右,乃至到了几百微米的量级,射频微等离子体又会产生哪些新的特点呢?
    如下图所示,是在同样的电流条件下,射频微等离子体鞘层区与等离子体区的分布比例。在给定电流密度0.06A/cm2,当放电间隙慢慢增加,通过实验和计算都表明鞘层开始慢慢增加,而当极板间隙增加多于500μm后,鞘层厚度基本保持在215μm不变。而对于等离子体区的厚度,其从100μm到900μm一直在单一性提升,91香蕉视频免费下载91香蕉视频下载APP机介绍。
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    通过上图能够知道的是,当放电间隙小于500μm时,放电等离子体由传统的辉光放电结构转化为一种鞘层主导的结构,即鞘层成为放电空间的主要部分。同时,数值模拟还显示,在鞘层主导的放电结构中,一整个放电空间无法保持电中性,而是呈现为电正性,如下图所示。
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    要是想在射频微等离子中继续获得正常的辉光结构,保障放电间隙内的电中性,提高放电频率是一种可行的方法。下图给出了在不同频率下两个周期电子密度的时空分布。图中显示,当频率为13.56MHz时,仅仅在电极附近才有大量的电子,其密度近似3.06×1011cm-3。
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    而当频率增加到27.12MHz时,产生的3.15×1011cm-3的电子密度在极板间由于外加电压的改变来回振荡,从一个极板到另一个极板,基本占据了一整个间隙。由于频率进一步增加到54.24MHz,在放电间隙产生的高密度电子,形成一个稳定的中性等离子体区。这些数据表明,由于频率的提升,放电结构也发生了变化,传统的辉光结构也能够产生。
     
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